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Z軸納米定位/掃描平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過(guò)高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃搭功能。

Z軸納米定位/掃描平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過(guò)高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃搭功能。

六自由度調(diào)臺(tái)可實(shí)現(xiàn)多自由度運(yùn)動(dòng)，動(dòng)態(tài)范圍大，重載穩(wěn)定性強(qiáng)，任意指定轉(zhuǎn)動(dòng)中心，可滿(mǎn)足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。

音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺(tái)，屬于三軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。通過(guò)三個(gè)線(xiàn)性移動(dòng)軸的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)Z軸線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)和θxθy軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。可以實(shí)現(xiàn)單軸直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)、兩軸線(xiàn)性插補(bǔ)、兩軸圓弧插補(bǔ)、任意圓心旋轉(zhuǎn)等復(fù)雜運(yùn)動(dòng)。

JKZC-X-16A 單軸長(zhǎng)行程壓電滑臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，具有數(shù)厘米級(jí)行程和納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度。

JKZC-X-16B單軸長(zhǎng)行程壓電滑臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，具有數(shù)厘米級(jí)行程和納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度。