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型號：
JKZC-NHR高精度角度臺

描述：JKZC-NHR高精度角度臺專用10°范圍內(nèi)高分辨率θ定位移動，基于粘滑仿生運動原理及特殊設(shè)計的驅(qū)動和納米伺服技術(shù)，具有納米級重復(fù)定位精度，可實現(xiàn)運動行程士5°的俯仰調(diào)節(jié)。

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)廠家

  • 更新時間

    2026-04-22

  • 訪問量

    96
詳細介紹
品牌北京精科產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

c

JKZC-NHR高精度角度臺 

1、典型應(yīng)用

掃描電鏡(SEM)樣品操縱

主動光學

超分辨成像樣品移動

大范圍電子束直寫(EBL)

微納裝備及制造

集成電路制造與檢測

高真空樣品精度對準及調(diào)姿

納米聚焦與掃描

顯微及納米CT

2、技術(shù)特點

超長運動行程：士5°

高分辨率：閉環(huán)分辨率為0.0175μrad

運動速度：可達3°/s

負載：500g

超高真空兼容性

運動模式：支持開環(huán)與閉環(huán)

輕量化、結(jié)構(gòu)緊湊，高可靠性

模塊化設(shè)計，摩擦單元可替換


3、2D尺寸圖

 JKZC-NHR高精度角度臺

4、規(guī)格參數(shù)


JKZC-NHR-60.5*

JKZC-NHR-77.5*

單位

傳感器類型

光柵編碼器(玻璃柵尺


行程

±5

°

最大負載

500

g

旋轉(zhuǎn)中心(工作平臺)

60.5

77.5

mm

驅(qū)動類型

壓電陶瓷

角速度

3

°/S

最小步長

0.5

μrad

自重

150

150

g

尺寸(LxWxH)

50x50x16.5

50x50x16.5

mm

工作溫度

10~50

℃

電氣接口

D-sub9

線纜長度

2

m

材料

鋁合金/鈦合金

真空(可選)

超真空兼容(5x10-9)

mbar


5、適配控制器


 JKZC-NHR高精度角度臺


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