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型號:
JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺

描述:JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動,通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)廠家
  • 更新時間

    2026-04-22
  • 訪問量

    100
詳細介紹
品牌北京精科產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺

JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動,通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。

JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺 


1、典型應(yīng)用

光學(xué)對準

納米壓印

顯微成像/操縱

表面檢測

高密度存儲

測量技術(shù)

半導(dǎo)體加工

2、技術(shù)特點

亞納米級分辨率

超高定位精度

無摩擦柔性較鏈導(dǎo)向

可正置/倒置

超高真空兼容性

高速、高動態(tài)

多運動模式:定位/掃描

 3、2D尺寸圖


 JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺


 4、規(guī)格參數(shù)


JKZC-3CD-300

單位

運動觸數(shù)

3


驅(qū)動類型

壓電陶瓷


閉環(huán)行程

300x300x300

μm

閉環(huán)分辨率

2

nm

重復(fù)定位精度

10

nm

XY/Z向上的無負載諧頻率

600/600/550

Hz

最大負載

40

g

傳感器類型

電容傳感器


寸(LxWxH)

170x170x36.5

mm

白重

1778

g

電氣接口

D-sub9/可定制


工作泗度

-20-80

屏蔽線纜長度

2

m

材料

鋁合金



5、適配控制器

JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺 


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