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2024-12-10
+2020-12-09
+2022-08-24
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JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺基于做納柔性機構和壓電執行器實現超高分辨力納米運動,通過高性能納米伺服系統實現閉環控制,具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態軌跡掃描功能。
Z軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構和壓電執行器實現超高分辨力納米運動,通過高性能納米伺服系統實現閉環控制,具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態軌跡掃搭功能。
Z軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構和壓電執行器實現超高分辨力納米運動,通過高性能納米伺服系統實現閉環控制,具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態軌跡掃搭功能。
六自由度調臺可實現多自由度運動,動態范圍大,重載穩定性強,任意指定轉動中心,可滿足各種工業需求,適應大氣和真空環境。廣泛應用于顯微操縱、生物技術、半導體制造等。
音圈電機驅動三自由度晶圓調節臺,屬于三軸并聯運動機構。通過三個線性移動軸的并聯運動實現Z軸線性運動和θxθy軸旋轉運動。可以實現單軸直線運動、兩軸線性插補、兩軸圓弧插補、任意圓心旋轉等復雜運動。
JKZC-X-16A 單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術,具有數厘米級行程和納米級運動精度。