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高速納米掃描臺基于音圈電機驅動和高精度導向模組實現納米級超高分辨力的定位/掃描直線運動，內置光柵位移傳感器，具有納米級運動分辨率和運動精度，同時兼具高速、高動態位移定位和掃描功能。

專為芯片-品圓鍵合(Dle-to-Wafer,D2W)應用場景而設計，具備高精度、高動態吶應、且可集成于多種封裝設備的納米級運動控制系統。

任何位移臺都有6個自由度:3個分別沿著x、y、z軸方向的平移自由度，另外3個則是圍繞x、yz軸的旋轉自由度(如圖1)。

精密運動位移臺基于步進電機驅動和高精度導向模組實現納米級超高分辨力的定位/掃描直線運動，內置光柵位移傳感器，結構緊湊，通過自主研發的高性能納米伺服系統獲得優異的閉環控制效果，具有高精度、高速、高動態位移定位和掃描功能。

JKZC系列絕對式納米光柵尺傳感器基于阿米精控自主知識產權量測系統設計，可實現非接觸測量，保證了的測量分辨率，滿足各種應用場景下納米級的測量需求。

JKZC-CDM-0x系列微位移傳感器主機專為緊湊型應用設計，內置前置放大器、濾波器和信號調理電路，并針對適配探頭進行驅動優化，適合于集成型應用。